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半導体機器の部品加工

2024-11-26

最新の会社の事例について半導体機器の部品加工 0

顧客の要求: 半導体製造会社には半導体製造設備のためにオーダーメイドのアルミ合金部品が必要でしたこの部品は,非常に高い平坦性と寸法精度を持つ必要があります例えば,半導体製造過程で,ホイールの正確な配置と移動を確保するために,キーホイールの表面平らさは ± 0.002mm の範囲でなければならない.さらに極度に敏感な半導体製造作業に干渉を防ぐために,優れた熱伝導性と最小限の表面荒さを持つ必要がある部品です.
解決法と加工プロセス:
- 精密形状を作り出すための CNC フレッシング: アルミ合金部品を形づくりに高精度CNCフレーシングマシンを使用した.フレーシングマシンには高安定性スペンドルと高度な運動制御システムが装備されていた.技師は道具の経路を慎重に設計し,切るパーマータを最適にして必要な平らな状態と寸法の正確さを達成しました表面の荒さを最小限にするために,ダイヤモンドで覆われた切削ツールが使用され,多段階の仕上げプロセスが実施されました.この作業には,細かく磨きされ,その後は表面ができるだけ滑らかなものになるようにして細かく磨きされることが必要でした.
- 品質管理と熱処理: 初期加工後,部品は高度な計測機器,例えば座標計測機や表面プロフィロメーターを用いて厳格な品質管理プロセスを受けた.精度や表面仕上げ要件を満たさない部品は,再加工された.その後,部品は熱伝導性を向上させ,機械加工中に発生した可能性がある内部ストレスを軽減するために熱処理プロセスにさらされました.この熱処理は,部品の寸法安定に影響しないように注意深く校正されました.
結果と顧客のフィードバック: アルミ合金製のパーツが半導体生産機器に成功裏に組み込まれました.高品質の部品により,機器の性能とウエファー生産の生産量は大幅に改善されました半導体製造会社は加工結果と詳細に注意を払ったことに非常に満足していました.半導体産業の要求の高い技術仕様を満たす能力を称賛し,将来のコンポーネント需要のための長期供給契約を締結した..

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